為什么電子廠的無塵車間需要恒溫恒濕？

為什么電子廠的無塵車間需要恒溫恒濕？

　　隨著人們生活質量的提高，對其生產質量的要求也越來越嚴格。電子工廠等行業無塵車間建設規劃中的靜電控制主要分為兩類:高濕度實際上減少了無塵車間和潔凈室表面的靜電積累，這是理想的結果。較低的濕度更適合電荷的積累，并成為潛在的破壞性靜電放電源。

　　相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但相對濕度不足30%時，可長時間持續存在于絕緣體或未接地的表面。

　　相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度可以使反應加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護型的氧化物，并阻止進一步的氧化反應;但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護能力的，因此，在高濕度的環境中，銅制表面更容易受到腐蝕。

　　總結電子行業無塵車間溫濕度的控制主要在于其生產工藝的要求。

　　在精密機械加工和計量等場合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，必須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數，取10／um／(m?K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在以內。

　　但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時，一般總是以恒定環境空氣溫度為依據，故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數和選擇自動控制時，必須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。

　　在電子行業制造車間是最重要產生靜電的地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

　　首先主要是為了錫膏能工作在一個較好的環境，溫度會影響錫膏的活性，對于里面所添加的助焊劑的相關溶劑的活性有一定的影響。溫度高會增加其的活性，最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現虛焊，焊點不光澤等現象。濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會使回流時產生氣空，飛漸，連焊等現象。故SMT恒溫恒濕車間溫濕度標準:溫度:24±2℃濕度:50±10%。

　　在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

　　因此，無塵車間的溫濕度控制由其生產工藝決定，但其精度也取決于房間的大小，如計量室、光柵雕刻室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩個是小房間，空調精度高(這里主要指溫度和濕度)。后兩種是對溫濕度精度要求較低的大型生產車間，因此房間大小也將決定恒溫恒濕車間的精度。